精密平臺(tái)的制作特點(diǎn)

精密平臺(tái)：
         一種五自由度精密定位平臺(tái)，采用壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū) 動(dòng)，其特征在于該平臺(tái)由基體及其底部的**支座和**支座構(gòu)成，該基體包含**動(dòng)平臺(tái)、**動(dòng)平臺(tái)和第三動(dòng)平臺(tái)，其中**動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)x方向平動(dòng)，**動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)y方向平動(dòng)，第三動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)z軸轉(zhuǎn)動(dòng)，**支座和**支座單獨(dú)伸長(zhǎng)，通過伸長(zhǎng)量的同異帶動(dòng)基體實(shí)現(xiàn)z方向平移和一維轉(zhuǎn)動(dòng)，
         所述的第三動(dòng)平臺(tái)分別通過**轉(zhuǎn)動(dòng)副柔性鉸鏈和**轉(zhuǎn)動(dòng)副柔性鉸鏈與底部的**支座和**支座連接。本發(fā)明五自由度精密定位平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的定位精度，而且具有易于加工、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、位移分辨率高、頻率響應(yīng)快和控制簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。
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